干式真空泵的工作原理,干式真空泵优缺点有哪些

 新闻资讯   |    2020-05-19 11:50:00   |  阅读数:0
[导读]:无油干式机械真空泵(又简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,今天上海振畅就给大家介绍干式真空泵的工作原理以及它们的优缺点有哪些...

在我们的经济发展过程中,干式真空泵的应用场景非常广泛,在例如油气回收、医药化工、太阳能应用、尾气处理、半导体应用、教育科研以及真空镀膜等行业正处于蒸蒸日上的阶段。而在干式真空泵选型的环节里,干式螺杆真空泵一直是较多人们的选择,今天上海振畅就给大家介绍干式真空泵的工作原理以及它们的优缺点有哪些。

干式真空泵是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生吸气和排气作用的一种真空抽气设备。干式螺杆真空泵工作原理是:利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触左螺杆与右螺杆做高速转动,利用泵壳和相互啮合的螺旋桨螺旋槽分割成多个空间、形成多个级,气体在相等的各个槽内进行传输运动,但无压缩,只有螺杆最末端的螺旋结构对气体有压缩作用,最终形成真空。

干式真空泵的工作原理

干式真空泵原理是利用一对螺杆,在螺杆真空泵泵腔内作同步反方向的高速运转,两个转子和泵体以及侧盖一起构成了若干个室进而达成吸排气作用的抽气机械设备。这些气室有规律地从真空泵的进气口侧往排气口侧“移动”,这样气体就被以低速旋流的方式传送出去。真空泵的持续运转不会改变气体的流向,这样可以在一定限度内将气体可能夹带的细小颗粒以及蒸汽抽送出去。

在干式真空泵工作时,两螺杆相互直接没有摩擦力的产生,泵腔内无需润滑油,在运行过程中机器平稳,产生的声音小。与等距螺杆真空泵相比,变螺距结构的真空泵极限真空度更高,有着良好的间隙设计和连续的压缩方式,单泵就可达到0.0075torr(0.01 hpa)的极限真空。能耗更低,变螺距螺杆真空泵的节能型设计理念,可降低30%的电能消耗,是油封式真空泵良好的替代产品。在半导体行业里面,油封式的真空泵可以由干式螺杆真空泵替代,大大提升工作环境的质量,进而提高所生产出产品的质量与性能。

干式真空泵的结构原理

干式真空泵是立式结构,进气口在上方,排气口在中部,下部为电机和润滑油池。螺杆转子呈中空形,为悬臂支承结构。同步传动齿轮位于轴承支座下面。变频电机通过联轴节与主动转子连接,该泵的气体路径较短,且立式结构对排除含微尘气体较为有利。泵外壳有水冷却,泵维修也便利。

干式真空泵选用适当的较简单螺杆牙型截面,那么它的优势是则制造简单,可保证很高的加工精度,且容易动平衡。根据其工作原理,我们可以可以明确地认识到,干式螺杆真空泵是一种极限真空度高、消耗功率比较低、节能、免维修等优点。