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德国Busch普旭真空泵在抽空工艺中的应用

作者:普旭真空时间:2019-10-14来源:网络阅读:100
[导读]:了解适用于抽空工艺的各种真空解决方案...

  就抽提工艺而言,真空技术的应用体现在哪些方面

  容器抽空,即抽除密封容器中的空气或气体,是真空技术最为广泛的应用之一。这类应用种类繁多。

抽空工艺

  所谓抽空,在多数环境空气工业应用中,一般理解为排空物理空间内的气体。当环境空气或氧气的存在对制造或测试工艺产生干扰时,常需要进行抽空。

  根据应用的不同,对真空度的要求也不尽相同,从中央真空系统要求的低真空到半导体生产硅片涂层的高真空。

  Busch 的哪些真空解决方案尤其适合抽空工艺

  容器抽空工艺应用范围广泛,相应地,此类真空泵产品也各式各样。挑选真空获得设备时,需要考虑的关键因素包括排气体积以及要求达到的容器最终压力。基本上我们所有的真空泵都能达到此类要求。

  R5RA旋片真空泵可用于许多不同的抽空工艺,因为其运行可靠且坚固耐用,表现卓越。

  Mink 爪式真空泵无油无接触运行,基本无需维护。这类节能型真空泵用于低真空抽气工艺。

  COBRA 螺杆真空泵特别适合抽除腐蚀性或爆炸性气体。COBRA 真空泵采用无油螺杆技术,可以达到高真空度。

  如果是高真空抽空工艺,建议采用由 R 5 或 COBRA 真空泵及 Puma 或 Panda 系列罗茨真空泵所组合而成的真空泵系统。如果抽空体积较小,建议采用 Zebra 旋片真空泵。适合高真空抽空的其它真空泵组合还包括 Turbo 涡轮分子真空泵和 Rangu 扩散真空泵。

  Busch 真空技术在抽气工艺中的常见应用范例:

  ·真空包装——包装腔体抽空

  ·容器真空系统——真空容器长期保持真空度

  ·热处理——真空炉抽空

  ·表面涂层——镀膜室抽空

  ·模具排气——铸造质量优化

  ·空间模拟——空间模拟室抽气

  ·传送室——晶片生产

  ·工艺室——主要用于半导体生产

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